Впервые о синтезе нитрида кремния сообщили в 1857 году Анри Эдуард Сен-Клер Девиль и Фридрих Вёлер. В их синтезе тигель с кремнием был помещен в тигель, наполненный углеродом, и нагрет, чтобы уменьшить проникновение кислорода. Они сообщили о продукте, который назвали нитридом кремния, но не смогли определить его химический состав.
В 1879 году Пауль Шутценбергер получил продукт путем нагревания кремния, смешанного с футеровочным материалом (паста, которая может использоваться в качестве футеровки тиглей, получаемая путем смешивания древесного угля, угольного брикета или кокса с глиной) в доменной печи, и сообщил о нем как о соединении с составом Si3N4. В 1910 году Людвиг Вайс и Теодор Энгельгардт получили Si3N4 путем нагревания элементарного кремния в чистом азоте. В 1925 году Фридерих и Ситтиг синтезировали нитрид кремния, нагрев диоксид кремния и углерод в атмосфере азота до 1250-1300°C с помощью термического восстановления углерода.
