Относительная молекулярная масса 140,28. Серый, белый или небелый. Это высокотемпературное нерастворимое соединение без температуры плавления с сильным сопротивлением высокотемпературной ползучести. Температура размягчения при нагрузке реакционно-спеченного нитрида кремния без связующего вещества выше 1800℃; гексагональная система. Кристалл имеет шестигранную форму. Плотность Si3N4, полученного реакционным спеканием, составляет 1,8~2,7 г/см3, а плотность Si3N4, полученного горячим прессованием, составляет 3,12~3,22 г/см3. Твердость по Моосу 9~9,5, твердость по Виккерсу около 2200, а микротвердость 32630 МПа. Температура плавления очень высока и может превышать 2000℃. Удельная теплоемкость 0,71 Дж/(г-К).
Теплота образования -751,57 кДж/моль. Теплопроводность составляет (2-155)Вт/(м-К). Коэффициент линейного расширения составляет 2,8~3,2×10-6/℃ (20~1000℃). Нерастворим в воде. Растворим в фтористоводородной кислоте.
Температура, при которой начинается окисление в воздухе, составляет 1300~1400℃. Удельное объемное сопротивление составляет 1,4×105-м при 20℃ и 4×108-м при 500℃. Модуль упругости составляет 28420~46060МПа. Прочность на сжатие составляет 490 МПа (реакционное спекание). Он реагирует с нитридом кальция, образуя силицид кальция при 1285℃, и уменьшает переходный металл при 600℃, чтобы выпустить оксиды азота. Прочность на изгиб составляет 147 МПа. Он может быть получен путем нагревания порошка кремния в азоте или реакции галогенида кремния с аммиаком. Удельное сопротивление составляет 10^15-10^16Ω.cm. Может использоваться в качестве сырья для высокотемпературной керамики.
