Нитрид кремния можно обрабатывать в зеленом, бисквитном или полностью плотном состоянии. В зеленом или бисквитном состоянии он сравнительно легко поддается обработке для создания сложных геометрических форм. Однако процесс спекания, необходимый для полного уплотнения материала, приводит к усадке тела нитрида кремния примерно на 20 %.
Эта усадка означает, что при обработке нитрида кремния до спекания невозможно обеспечить очень жесткие допуски. Чтобы добиться очень жестких допусков, полностью спеченный материал необходимо обрабатывать/шлифовать с помощью алмазных инструментов. В этом процессе используется очень точный инструмент/колесо с алмазным покрытием для удаления материала до получения желаемой формы. Это может быть трудоемким и дорогостоящим процессом из-за присущей материалу жесткости и твердости.







