Существует два метода производства керамических изделий из нитрида кремния, а именно реакционное спекание и горячее прессование. Метод реакционного спекания заключается в формовании кремниевого порошка или смеси кремниевого порошка и порошка нитрида кремния в соответствии с общим методом производства керамических изделий. Затем в печи для азотирования проводится предварительное азотирование при температуре 1150~1200℃. После получения определенной прочности, он может быть обработан на станке, а затем далее азотирован при 1350 ~ 1450℃ в течение 18 ~ 36 часов, пока он полностью не превратится в нитрид кремния.
Изделия, изготовленные таким способом, имеют точный размер и стабильный объем. Метод горячего прессования заключается в тепловом прессовании и спекании порошка нитрида кремния с небольшим количеством добавок (таких как MgO, Al2O3, MgF2, AlF3 или Fe2O3 и т.д.) при давлении более 19,6 МПа и температуре 1600~1700℃. Обычно изделия, полученные методом горячего прессования, имеют более высокую плотность и лучшие характеристики, чем изделия, полученные методом реакционного спекания.
